基于SOG(Silicon on Glass)工艺设计了一种新型电容式加速度传感器结构,分析了该结构的检测和反馈原理.为了提高闭环微加速度传感器的性能,更好地实现闭环控制调节作用,对传感器系统进行了研究.在反馈系统中引入PID控制器,并建立了SIMLINK系统模型,分析了系统闭环传递函数以及控制参数对传感器系统的影响.仿真结果表明:PID控制器可以很好地改善系统的频率响应,增加系统带宽,调节系统的阻尼,减小系统的响应时间和调节时间,大大提高了闭环加速度计的性能.
2023-03-03 16:05:15
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自然科学
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