本书中介绍的材料旨在让读者全面了解微流体技术的现状，并希望为读者提供必要的工具，使他们能够超越理解随着本领域的进步，本书的现有范围。本书中的材料改编自我们作者在该领域开发和教授的课程，本书适合在MEMS，生物MEMS或微流体学的入门课程中，作为高年级本科生和研究生的课程文本。该书的组织方案清晰，适合课堂使用。它分为基础部分和应用部分。

matlab过滤源码dcm-imu DCM-IMU算法专为融合低成本三轴MEMS陀螺仪和加速度计而设计。 扩展的卡尔曼滤波器用于估计方向余弦矩阵（DCM）形成和陀螺仪偏置在线的姿态。 可变测量协方差方法用于加速度测量，以确保针对瞬态非重力加速度的鲁棒性，而瞬态非重力加速度通常会在常规IMU算法中引起姿态估计的误差。 如果您在任何科学背景下使用该算法，请引用：Heikki Hyyti和Arto Visala，“低成本MEMS IMU的基于DCM的姿态估计算法”，国际导航与观察杂志，第1卷。 2015，物品ID 503814，18页，2015。 如果要使用Sebastian Madgwick的比较算法，请从中下载它们并在c / MahonyAHRS /（MahonyAHRS.cpp和MahonyAHRS.h）和c / MadgwickAHRS /（MadgwickAHRS.cpp和MadgwickAHRS.h）文件夹下复制c实现。 为了使Matlab正确地编译它们，必须将c文件重命名为cpp文件。 此外，DCM_IMU c代码包括Eigen3矩阵库和Matlab标头。 请在编译之前安装Ei

随着硅微机械加工技术(MEMS)的迅猛发展,各种基于MEMS技术的器件也应运而生,目前已经得到广泛应用的就有压力传感器、加速度传感器、光开关等等,它们有着体积小、质量轻、成本低、功耗低、可靠性高等特点，而且因为其加工工艺一定程度上与传统的集成电路工艺兼容，易于实现数字化、智能化以及批量生产，因而从问世起就引起了广泛关注,并且在汽车、医药、导航和控制、生化分析、工业检测等方面得到了较为迅速的应用。

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MEMS麦克风的声学设计 ，尤其是仿真了共振的不同影响因素。

MEMS是微机电系统的英文缩写。MEMS是美国的叫法，在日本成为微机械，在欧洲被成为微系统。它是指可批量制作的，集微型机构、微型传感器、微型执行器以及信号处理和控制电路、直至接口、通信和电源等于一体的微型器件或系统。

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