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清华大学微电子研究所讲义-MEMS封装技术.pdf
清华大学微电子研究所讲义-MEMS封装技术.pdf
上传者:
39840914
|
上传时间: 2021-09-18 22:36:10
|
文件大小: 4.1MB
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文件类型: PDF
传感技术
MEMS是微机电系统的英文缩写。MEMS是美国的叫法,在日本成为微机械,在欧洲被成为微系统。它是指可批量制作的,集微型机构、微型传感器、微型执行器以及信号处理和控制电路、直至接口、通信和电源等于一体的微型器件或系统。
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