为了实现高成像要求,投影光刻物镜在设计时需要考虑膜层偏振效应的影响,并进行相应的分析和评价。首先介绍了基于琼斯矩阵的偏振像差理论,然后以一个数值孔径(NA)为0.75的投影光刻物镜为例,设计了相应膜系,系统分析了膜层引入的偏振像差,并在设计时对膜层引入的离焦项和球差项进行了间隔优化补偿,补偿前后标量波像差和质心畸变分别从68.92 nm 和3.76 nm 改善为1.08 nm 和0.38 nm,偶极照明模式下90 nm 密集线条对比度从0.082 提高为0.876,在此基础上,提出在设计时根据不同表面的入射角分布情况,采用组合膜系,同时控制P光和S光的振幅和相位分离,减小膜系引入的延迟和二次衰减等偏振像差,使得线条对比度提高了1.1%。
2024-05-27 19:12:59 6.61MB 光学制造 投影光刻
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红外宽光谱增透膜作为红外光学系统中的关键元件,其研究是一项比较复杂而备受重视的工作。针对风云二号辐射计锗窗口的宽光谱增透膜的要求,通过对镀膜材料在既定工艺条件下的光学参数的准确拟合,采用非对称等效层理论,并将材料光学参数拟合值代入到膜系的优化过程中,从而得到能够与实际情况接近的理论设计膜系。经过工艺优化后,研制出的宽光谱增透膜在要求的3.5-4.0 mm,6.3-7.6 mm,10.3-11.3 mm三个通道的平均透射率均大于96%,而11.5-12.5 mm通道的平均透射率大于94%。膜层能够经受住浸泡、高温高湿等一系列环模试验的检验,完全满足项目的使用要求。
2024-05-27 19:11:21 1.37MB 红外光学 光学参数
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传统多层膜设计所用的全局寻优法的速度非常慢,有时还很难得到理想的膜系。根据Frensnel反射系数公式计算多层膜的反射率,利用单纯形法对软X射线和X射线波段多层膜进行调优,可在短时间内优化出最接近目标光学性能的多层膜膜系结构。计算了不同波长软X射线周期性多层膜的最高理论反射率。单纯形调优算法在保证优化结果与随机搜索法优化结果近似相同的基础上,使优化计算速度提高了十倍以上。同时还用单纯形调优法优化设计了X射线超反射镜,得到了非常理想的非周期膜系。
2024-05-27 19:06:53 233KB 工程技术 论文
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小白
2024-04-26 20:56:24 58KB matlab/simulink
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foc滑膜观测器(SMO+PLL)matlab模型,仿真里面是直接0速闭环启动的效果,当然这是仿真,应用到硬件肯定要加开环启动,目前已经在M4的硬件中实现了,效果还不错,现在出这个模型,matlab 的版本是2021b 该段话涉及到以下foc滑膜观测器、SMO+PLL模型、Matlab仿真、闭环启动、开环启动、M4硬件、Matlab 2021b版本。 重述:在Matlab 2021b版本中,我们设计了一种基于SMO+PLL模型的foc滑膜观测器。在仿真中,我们直接使用0速闭环启动的方法演示了其效果。当然,这只是在仿真环境下的结果。在实际应用中,我们必须采用开环启动的方式,并且已经在M4硬件平台上成功实现了这一目标。该方法的效果还不错。 1. FOC滑膜观测器:FOC(Field Oriented Control)是一种矢量控制方法,用于驱动永磁同步电机。滑膜观测器是FOC算法中用于估计电机状态的一种技术手段。 2. SMO+PLL模型:SMO(Sliding-Mode Observer)与PLL(Phase-Locked Loop)是控制系统中常用的估计器和锁相环模型。结合使用
2024-04-23 10:52:08 433KB matlab
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单色光干涉面接触润滑膜厚在线测量.pdf,提出了滑块 玻璃盘形成的面接触润滑油膜厚度光干涉在线测量方法。以单色激光为光源,根据油膜厚度变化引起平行干涉条纹平移的物理特征,基于光流和动态时间规整技术构造复合算法,测量干涉图像相邻帧空间域上一维光强曲线的位移,从而得到相邻帧之间的油膜厚度差。从零速度开始记录每一帧干涉图像对应的膜厚变化,实时计算出当前帧对应的膜厚,实现了膜厚的在线测量。当前算法的测量结果与离线膜厚测量结果进行了对比,验证了该系统的测量准确性。进行了阶跃载荷、匀加速及匀减速工况下的膜厚测量,揭示了膜厚变化规律。
2024-04-11 14:53:27 1.63MB 论文研究
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采用Ultra-flo超滤系统去除不经预处理的维生素B12发酵液中残留的菌丝体和蛋白质等杂质。用截留分子量为10万的Ultra-flo膜过滤维生素B12发酵液,滤液质量高,平均膜通量可达到122.52 L/m-2·h-1,膜通量衰减较慢,被污染的膜经清洗后与新膜没有明显的差异,说明Ultra-flo超滤系统处理能力强且可长时间稳定运行。该超滤系统现已在华北制药集团威可达公司成功应用。
2024-03-28 22:46:33 363KB 维生素B
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我们发现,在大D态下,在爱因斯坦-高斯-帽子(EGB)重力中,黑洞对偶膜的运动方程达到了1 / D的先导次序。 我们还发现了关于EGB方程的度量解,以膜变量的形式,以1 / D的第一个子导数阶。 我们提出了一种膜的世界体积应力张量,其守恒方程等效于前导膜方程。 我们从静态圆形膜的线性波动中得出了EGB重力下的静态黑洞的准准模式光谱。 而且,已经使用EGB重力膜方程式获得了固定黑洞的有效方程式和关于黑弦构造的线性化光谱的光谱。 我们所有的结果都在Gauss-Bonnet参数中按线性顺序计算。
2024-03-24 21:03:25 615KB Open Access
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我们研究$$ \ mathcal {N} = 6 $$ N = 6质量变形的ABJM理论与$$ \ hbox {U} _k(N)\ times \ hbox {U} _ {- k}(N)$$ Uk(N)×Uk(N)的规范对称性和LLM几何上具有SO(2,1)$$ \ times×SO(4)/ $$ {\ mathkk {Z}} _ k $$ Zk $$ \ times $$×SO(4)/ $$ {\ mathbb {Z}} _ k $$ Zk等轴测图,用KK全息图表示,涉及二次阶场重新定义。 我们为各种尺度不变场建立二次阶KK映射,以获得规范的4维重力运动方程,并将LLM解简化为渐近AdS $$ _ 4 $$ 4重力解。 KK图的非线性表明我们可以观察LLM解决方案的非线性KK全息术的真正目的。 我们从渐近的AdS $$ _ 4 $$ 4重力解中读取了保角维2算子的真空期望值。 对于以正方形杨氏图表示的LLM解,我们将全息程序获得的真空期望值与场论得到的结果进行比较,该结果由$$ \ langle \ mathcal {O} ^ {( \ Delta = 2)} \ rangl
2024-03-24 15:54:14 735KB Open Access
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膜范例是研究黑洞视界属性的有力工具。 我们首先探索黑洞非线性电磁膜的性质。 对于一般的非线性电动力学场,我们表明水平线的电导率通​​常具有非对角线分量,并取决于水平线上的正常电场和磁场。 通过全息对偶,我们找到了在中性和静态黑色麸皮背景下,守恒电流对探针非线性电动力学场的全息直流电导率与模型无关的表达式。 它表明这些直流电导率仅取决于在地平线上评估的几何和电磁量。 我们还可以在边界理论中根据温度,电荷密度和磁场来表示直流电导率,以及在水平线处的非线性电动力学中的耦合值。
2024-03-24 15:05:32 549KB Open Access
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