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微立体光
刻技术研究及应用
综述了国内外最近几年
微立体光
刻技术的研究进展。阐述了
微立体光
刻技术中的线扫描技术及面投影技术的基本原理及分类,分析了它们的技术核心并对相关参数进行了比较。简要阐述了
微立体光
刻技术在制造原型、微系统部件及微流体装置等方面的应用,最后,对该技术的发展前景作了展望。
2022-06-28 15:48:29
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