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衬底温度对
ZnO薄膜
晶体结构和迁移率的影响
衬底温度是影响
ZnO薄膜
特性的重要因素,可以在很大程度上改变薄膜的结晶结构,温度高低直接影响衬底表面吸附原子的表面迁移率,再蒸发和结晶情况.在室温下测量了不同温度生长的
ZnO薄膜
的X射线衍射(XRD)曲线,探讨了最佳结晶质量所需的衬底温度.另外,从迁移率随温度的变化曲线上也得到同样的结果.
2022-12-12 21:55:41
1.08MB
ZnO薄膜
晶体结构
迁移率
ZnO
1
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ZnO薄膜
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