为了研制低损耗、高性能的193 nm氟化物高反膜,对193 nm氟化物高反膜的设计、制备与性能分析进行了深入探讨。用挡板法和预镀层技术相结合,实现了在现有镀膜机上对193 nm薄膜的膜厚控制。在熔石英基底(JGS1)上,用热舟蒸发制备了不同氟化物材料组合高反膜,对不同氟化物材料组合高反膜的反射率、透射率和光学损耗等光学特性,横截面形貌和表面粗糙度等微结构以及应力等特性进行了讨论和比较。在对不同材料组合高反膜性能分析比较的基础上,对应用于高反膜膜材料组合进行了优化选择,以NdF3/AlF3为材料对,设计制备了193 nm高反膜。193 nm氟化物高反膜的反射率达到96%。

行业-电子政务-氟化物离子电池用负极层及氟化物离子电池.zip

神东矿区煤炭资源丰富，但淡水资源匮乏，高氟矿井水已成为制约矿井水循环利用的关键因素，然而高氟矿井水的来源和形成机制尚未进行过系统研究。系统采集了神东矿区62组不同水体样品，利用数理统计、离子比及因子分析等手段，在矿物溶解与沉淀，蒸发浓缩，阳离子交换，竞争吸附和人为污染作用等方面探讨了神东矿区高氟矿井水的F-质量浓度特征和空间分布规律，并分析了其来源和形成机制。结果显示:神东矿区矿井水中F-质量浓度为0.16~12.75 mg/L，平均值为5.01 mg/L，有77.78%的样品超过了《生活饮用水卫生标准》(GB5749—2006)。从空间分布看，神东矿区矿井水中F-质量浓度呈现西北高，东南低的态势，高氟矿井水主要分布在布尔台矿和乌兰木伦矿等矿区。垂向上看，高氟地下水主要集中分布在埋深150~300 m，主要为3-1煤和5-2煤开采后产生的矿井水的埋深范围。偏碱性，高TDS，Na+，HCO-3，和低Ca2+是形成高氟矿井水的主要水化学环境。延安组是高氟矿井水最主要的补给来源。高氟矿井水的形成主要受含氟矿物的溶解控制，方解石和白云岩的溶解饱和影响了萤石等含氟矿物的溶解平衡，造成矿井水中F-