以锗基红外宽带增透膜(AR)为例，基于Matlab最优化工具箱，研究了多种局部优化算法在多层膜设计中的性能和反向工程算法开发中的可行性，并就数值实验中出现多解性问题的成因、分析及解决方案进行了探讨。结果表明，Matlab最优化工具箱中的导数算法在多层膜局部优化设计上具有更好的局部极值搜索性能和收敛速度；非导数算法性能较差且收敛时间较长，但具有更多的搜索路径，较适用于设计初期开拓搜索方向。在多层膜反演中，导数算法中的非线性最小二乘估计指令lsqnonlin和非线性方程求解指令fsolve的性能出色，建议作为多层膜反向工程问题的主要算法。无约束优化指令fminunc性能次之，约束优化指令fmincon再次之，可作为备用反演算法。而多目标优化指令fminimax和其余非导数算法由于算法的性能不足和自身内在多解性的原因，不利于多层膜的反演，容易得到错误的结果，不建议作为反演算法使用，仅可作为可选算法以供对比参考。

一维光子晶体多层薄膜特性的MATLAB模拟

引入一种新的薄膜特征矩阵,用以计算多层膜中的电场分布,得到了TE和TM波电场的简单表达式。计算并绘制了薄膜偏振器和感应反射滤光片的内部电场分布曲线。应用新的薄膜特征矩阵,也可以很容易推导出多层膜的表面等离子激光波的色散关系。

提出了一种薄膜本征应力的模拟方法, 数值仿真分析了多层薄膜沉积过程中的热应力和本征应力。通过引入本征应力系数, 并借助现有的热应力有限元分析程序, 模拟了薄膜的本征应力, 并从理论上证明了该方法的合理性。采用模型重构-应力初始化的方法模拟了材料增长, 建立了多层薄膜应力分析模型。工程实例分析结果表明, 采用该方法和流程可以方便地模拟出多层薄膜在每个沉积阶段的本征应力和热应力。

有关薄膜基本原理、薄膜设计、薄膜制作较详细的资料