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64×64点阵达曼光栅的设计与实现
分析了偶数点阵达曼光栅的设计原理与特性。利用数值优化方法,获得了一组64×64点阵达曼光栅解。光栅模版用电子束制版法制成,其最细线宽为2.5μm。用光刻法实现了这一位相光栅,并比较了不同位相光栅制作法的优缺点。原子力显微镜测得的光栅深度曲线与64×64点阵实验结果表明,此光栅结果接近理论值。
2023-03-18 20:10:06
102KB
达曼光栅
光互连
光刻法
Dammann
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2022-04-29 09:00:58
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很好的资源,欢迎下载,有利于
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的学习,是一篇不错的文献,共享一下了。。。。。。
2021-07-17 04:07:55
84KB
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