为了实现高成像要求,投影光刻物镜在设计时需要考虑膜层偏振效应的影响,并进行相应的分析和评价。首先介绍了基于琼斯矩阵的偏振像差理论,然后以一个数值孔径(NA)为0.75的投影光刻物镜为例,设计了相应膜系,系统分析了膜层引入的偏振像差,并在设计时对膜层引入的离焦项和球差项进行了间隔优化补偿,补偿前后标量波像差和质心畸变分别从68.92 nm 和3.76 nm 改善为1.08 nm 和0.38 nm,偶极照明模式下90 nm 密集线条对比度从0.082 提高为0.876,在此基础上,提出在设计时根据不同表面的入射角分布情况,采用组合膜系,同时控制P光和S光的振幅和相位分离,减小膜系引入的延迟和二次衰减等偏振像差,使得线条对比度提高了1.1%。
2024-05-27 19:12:59 6.61MB 光学制造 投影光刻
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人眼屈光系统经过长期的进化已经非常智能,但并不完美,存在多种光学像差。除了离焦、像散等低阶像差之外,人眼还存在着许多更加复杂的高阶像差,如彗差、球差、三叶草等。这些高阶像差不但给眼底视网膜高分辨率检查带来挑战,还降低了人眼自身的视觉分辨能力。研究高阶像差与视功能之间的相互关系将有助于提高我们的视光学认识,为优化视觉校正策略和视功能维护提供有益指导。但是,早期的相关研究均为单眼研究,而人类视觉为双眼视觉,其并非单眼的简单叠加。如何有效评价双眼高阶像差对双眼视功能的影响成为单眼像差校正与视功能研究的必然过渡和发展趋势。
2023-12-27 11:23:09 683KB
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本matlab程序用于对泽尼克多项式的像差进行绘图
2023-08-02 15:58:45 17KB zernike 像差 泽尼克 泽尼克像差
这个本人综合了很多文献和资源,提炼后的一些关于星点检验像差方法的分享,包括星点检验的原理、条件、特点等,里面的公式推导本人花了很多时间,供大家参考
2023-05-23 14:29:46 1.52MB 光学检测 像差检测
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利用条纹泽尼克多项式来表征自由曲面的光学元件,并将多项式中表示初级球差、彗差、像散项转换为矢量形式。利用矢量波像差理论,研究了自由曲面光学元件校正光学系统初级像差的特性。通过分析可知,自由曲面在光学系统中不同位置时所校正的像差特性不同。当自由曲面位于光学系统的孔径光阑(入瞳或出瞳)上可以校正光学系统全视场内为常数的初级像差;当自由曲面远离孔径光阑时,由于轴外视场成像光束口径的缩放与偏移,自由曲面可以校正非对称初级像差,且不同初级像差与视场依据关系不同。
2023-03-12 15:58:04 8.74MB 光学设计 矢量波像 自由曲面 光学系统
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在ICF高功率激光驱动器中,用双胶合透镜代替扩束望远系统中的较大透镜,或用两反射镜做成反射式扩束系统,两种情形都能对多种波长进行扩束,达到了设计要求.
2022-12-13 16:59:05 1.08MB 激光扩束 双胶合透 像差 非球面
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泽尼克多项式,像差 泽尼克多项式,像差泽尼克多项式,像差泽尼克多项式,像差
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图像质量评价的研究已成为图像信息工程的基础技术之一。由于图像的最终接受者是人,所以评价图像质量应反映出人类的主观视觉感知。为构造一种符合人眼视觉特性的图像质量评价方法,利用点扩散函数针对人眼建立了含有波前像差信息的图像视觉评价模型,并用此模型分别对添加不同噪声的图像进行图像质量评价。实验结果表明,该方法是可行的、有效的,不同的人眼对同一幅图像的评价存在有差异,人眼波前像差越小观察到的图像越清晰。该方法不仅能够在评价图像质量时准确反映人眼的主观感知,而且能够直观地呈现不同人眼实际看到的图像。
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光电信息科学与工程 光学仿真 matlab 几何光学像差光路图绘制
2022-08-10 19:03:35 392KB 光学仿真 像差 光路图 matlab
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