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膜系引入偏振
像差
对投影光刻物镜设计的影响与改进
为了实现高成像要求,投影光刻物镜在设计时需要考虑膜层偏振效应的影响,并进行相应的分析和评价。首先介绍了基于琼斯矩阵的偏振
像差
理论,然后以一个数值孔径(NA)为0.75的投影光刻物镜为例,设计了相应膜系,系统分析了膜层引入的偏振
像差
,并在设计时对膜层引入的离焦项和球差项进行了间隔优化补偿,补偿前后标量波
像差
和质心畸变分别从68.92 nm 和3.76 nm 改善为1.08 nm 和0.38 nm,偶极照明模式下90 nm 密集线条对比度从0.082 提高为0.876,在此基础上,提出在设计时根据不同表面的入射角分布情况,采用组合膜系,同时控制P光和S光的振幅和相位分离,减小膜系引入的延迟和二次衰减等偏振
像差
,使得线条对比度提高了1.1%。
2024-05-27 19:12:59
6.61MB
光学制造
投影光刻
1
双眼高阶
像差
校正与视觉分析系统
人眼屈光系统经过长期的进化已经非常智能,但并不完美,存在多种光学
像差
。除了离焦、像散等低阶
像差
之外,人眼还存在着许多更加复杂的高阶
像差
,如彗差、球差、三叶草等。这些高阶
像差
不但给眼底视网膜高分辨率检查带来挑战,还降低了人眼自身的视觉分辨能力。研究高阶
像差
与视功能之间的相互关系将有助于提高我们的视光学认识,为优化视觉校正策略和视功能维护提供有益指导。但是,早期的相关研究均为单眼研究,而人类视觉为双眼视觉,其并非单眼的简单叠加。如何有效评价双眼高阶
像差
对双眼视功能的影响成为单眼
像差
校正与视功能研究的必然过渡和发展趋势。
2023-12-27 11:23:09
683KB
1
泽尼克
像差
绘图程序.rar_zernike_
像差
_泽尼克_泽尼克
像差
_泽尼克多项式
本matlab程序用于对泽尼克多项式的
像差
进行绘图
2023-08-02 15:58:45
17KB
zernike
像差
泽尼克
泽尼克像差
星点检验法分享.pdf
这个本人综合了很多文献和资源,提炼后的一些关于星点检验
像差
方法的分享,包括星点检验的原理、条件、特点等,里面的公式推导本人花了很多时间,供大家参考
2023-05-23 14:29:46
1.52MB
光学检测
像差检测
1
自由曲面校正光学系统
像差
的研究
利用条纹泽尼克多项式来表征自由曲面的光学元件,并将多项式中表示初级球差、彗差、像散项转换为矢量形式。利用矢量波
像差
理论,研究了自由曲面光学元件校正光学系统初级
像差
的特性。通过分析可知,自由曲面在光学系统中不同位置时所校正的
像差
特性不同。当自由曲面位于光学系统的孔径光阑(入瞳或出瞳)上可以校正光学系统全视场内为常数的初级
像差
;当自由曲面远离孔径光阑时,由于轴外视场成像光束口径的缩放与偏移,自由曲面可以校正非对称初级
像差
,且不同初级
像差
与视场依据关系不同。
2023-03-12 15:58:04
8.74MB
光学设计
矢量波像
自由曲面
光学系统
1
多波长激光扩束系统的设计
在ICF高功率激光驱动器中,用双胶合透镜代替扩束望远系统中的较大透镜,或用两反射镜做成反射式扩束系统,两种情形都能对多种波长进行扩束,达到了设计要求.
2022-12-13 16:59:05
1.08MB
激光扩束
双胶合透
像差
非球面
1
zernike.zip_MATLAB
像差
_matlab 光学
像差
_
像差
仿真_
像差
仿真 matlab_泽尼克
像差
利用matlab实现光学系统
像差
仿真,泽尼克
像差
代码实现
2022-10-31 22:34:43
14KB
matlab_像差
matlab_光学像差
像差仿真
像差仿真_matlab
1
zernfun.rar_matlab
像差
_zernike_zernike polynomials_
像差
_
像差
matlab
泽尼克多项式,
像差
泽尼克多项式,
像差
泽尼克多项式,
像差
泽尼克多项式,
像差
2022-10-24 09:34:05
2KB
matlab像差
zernike
zernike_polynomials
像差
1
基于波前
像差
的图像质量评价方法研究
图像质量评价的研究已成为图像信息工程的基础技术之一。由于图像的最终接受者是人,所以评价图像质量应反映出人类的主观视觉感知。为构造一种符合人眼视觉特性的图像质量评价方法,利用点扩散函数针对人眼建立了含有波前
像差
信息的图像视觉评价模型,并用此模型分别对添加不同噪声的图像进行图像质量评价。实验结果表明,该方法是可行的、有效的,不同的人眼对同一幅图像的评价存在有差异,人眼波前
像差
越小观察到的图像越清晰。该方法不仅能够在评价图像质量时准确反映人眼的主观感知,而且能够直观地呈现不同人眼实际看到的图像。
2022-09-07 10:17:27
885KB
图像处理;
质量评价;
点扩展函数(PSF);
波前像差
1
光学仿真-matlab-仿真分析几何光学中的几种
像差
(包含球差/慧差/正弦差/像散/场曲/畸变)-光路图绘制
光电信息科学与工程 光学仿真 matlab 几何光学
像差
光路图绘制
2022-08-10 19:03:35
392KB
光学仿真
像差
光路图
matlab
1
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