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集成电路制造技术——原理与工艺----第三章外延
集成电路制造技术——原理与工艺----第三章外延
上传者:
zhifj86
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上传时间: 2021-05-26 00:31:35
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文件大小: 4.46MB
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文件类型: PPT
外延
集成电路制造技术——原理与工艺----第三章外延 3.1 概述 3.2 气相外延 3.3 分子束外延 3.4 其它外延 3.5 外延层缺陷及检测
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