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108页光刻机行业研究框架-20200622-方正证券.pdf
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上传者:
zhhhhz
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上传时间: 2022-08-18 23:37:16
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文件大小: 5.13MB
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文件类型: PDF
光刻机
光刻机作为前道工艺七大设备之首(光刻机、刻蚀机、镀膜设备、量测设备、清洗机、离子注入机、其他设备),价值含量极大,在制造设备投资额中单项占比高达23%,技术要求极高,涉及精密光学、精密运动、高精度环境控制等多项先进技术。光刻机是人类文明的智慧结晶,被誉为半导体工业皇冠上的明珠。
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