HSMS SEMI E37标准英文版PDF
HSMS is intended as an alternative to SEMI E4
(SECS-I) for applications where higher speed communication
is needed or when a simple point-to-point
topology is insufficient. SEMI E4 (SECS-I) can still be
used in applications where these and other attributes of
HSMS are not required.
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lantianjialiang :内容很简单，只要24页2021-01-20 -
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l251210269 :是可以打开的文档，不错。2019-08-27
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