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工艺中的问题-微电子工艺
工艺中的问题-微电子工艺
上传者:
42205158
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上传时间: 2025-10-13 19:22:48
|
文件大小: 1.63MB
|
文件类型: PPT
工艺中的问题 甩胶可能出现的缺陷: *位于旋转的晶圆的边缘的粒子的运动速度可达到70mph! 缺陷 原因 针孔 污染 云状膜 超湿度 涂胶不平 注口不准, 光刻胶不充分 太厚/薄 旋涂速度不合适, 光刻胶黏度(老化), 湿气改变 “彗星” 滴胶时的带进气泡或者微粒粒子*
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