工艺中的问题-微电子工艺
工艺中的问题
甩胶可能出现的缺陷:
*位于旋转的晶圆的边缘的粒子的运动速度可达到70mph!
缺陷 原因
针孔 污染
云状膜 超湿度
涂胶不平 注口不准, 光刻胶不充分
太厚/薄 旋涂速度不合适, 光刻胶黏度（老化）， 湿气改变
“彗星” 滴胶时的带进气泡或者微粒粒子*
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