图形的保真度-集成电路制造工艺之光刻与刻蚀工艺

集成电路芯片制造

8.10.1、图形的保真度经过腐蚀之后图形，通常呈现为三种情况，设纵向腐蚀速率为Vv、侧向腐蚀速率为Vl。图(a)，Vl =0，腐蚀只沿纵向进行，为各向异性腐蚀。图(b)和(c)，在纵向腐蚀的同时，侧向也进行了腐蚀。若Vv = Vl ，为各向同性腐蚀。

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