很详细的0.18umprocessflow.pdf
NITRIDE是作为STI CMP的STOPLAYER。NITRIDE的厚度要精确控制， 一方面与PAD OXIDE,SiON,ARC的厚度相匹配，很好的控制exposure时的折射率,厚度为1625A时 的CD control最好； 另一方面与BIRD’S BEAK的形成有关。如果NITRIDE太厚，BIRD’S BEAK会减小，但是引入Si 中的缺陷增加；如果加厚PAD OXIDE，可减小缺陷，但BIRD’S BEAK会增加
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