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论文研究-埋层锑注入剂量的工艺监测 .pdf
论文研究-埋层锑注入剂量的工艺监测 .pdf
上传者:
39840914
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上传时间: 2024-01-04 13:50:06
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文件大小: 364KB
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文件类型: PDF
埋层锑注入剂量的工艺监测 ,郑刚,程秀兰,随着近年来液晶面板的兴起以及越来越大的尺寸,高压LCD驱动日渐受到市场的关注,该产品生产中采用了埋层注入和外延工艺[1]。作为N��
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