论文研究-埋层锑注入剂量的工艺监测 .pdf
埋层锑注入剂量的工艺监测 ，郑刚，程秀兰，随着近年来液晶面板的兴起以及越来越大的尺寸，高压LCD驱动日渐受到市场的关注，该产品生产中采用了埋层注入和外延工艺[1]。作为N��
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