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上传时间: 2021-03-02 18:06:14
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文件大小: 605KB
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文件类型: PDF
条纹计数法的分辨率精度,而常用的高级外部差调频校准法(如相位差生成载波法,线性调频法),在光源调频过程中伴生有幅度调制和调制调制系统复杂。提出了一种基于双光纤光路相位偏移的法布里-珀罗(FP)位移传感器,原理上省去了光源调频过程,在提高检测精度的同时,成本与条纹计数法相当。位移测量实验结果表明,该传感器在0〜500μm的测量范围内,线性度为1.1%,误差界限为±3μm。