高精度单幅闭合条纹干涉图相位重构技术
在干涉检测中,常用各种调制手段将被测信息加载到干涉图中,通过对检测得到的条纹图样进行分析,便可以得到被测信息。如果实验条件不允许施加任何调制手段,探测器检测得到的将很有可能是具有闭合条纹的单幅干涉图。正则化相位跟随(RPT)技术可以对单幅闭合干涉图进行相位重构,但其最主要的问题是精度过低。从最小二乘法角度出发,在经典RPT技术基础上,利用黄金分割(GS)算法对干涉图相位进行二次逼近,实现了对单幅闭合干涉图的高精度相位重构。计算机仿真结果表明该算法在保持了经典RPT算法各项优点的同时能够有效提高相位重构精度。对实际干涉图进行处理的结果与ZYGO GPI干涉仪进行了对比,结果较吻合,平均峰-谷(PV)值精度优于λ/20。
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