1315 nm高反射率硅镜的膜系分析

上传者: 38667403 | 上传时间: 2023-07-12 14:42:46 | 文件大小: 1.11MB | 文件类型: PDF
利用TFCALC薄膜设计软件包对TiO2/SiO2, Ta2O5/SiO2和Si/SiO2膜系中心波长为1315 nm的硅镜反射特 性进行了仿真模拟。给出了正入射与45°斜入射情况下三种膜系硅镜的反射特性,并进行了分析与讨论。

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