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1315 nm高反射率硅镜的膜系分析
1315 nm高反射率硅镜的膜系分析
上传者:
38667403
|
上传时间: 2023-07-12 14:42:46
|
文件大小: 1.11MB
|
文件类型: PDF
化学氧碘
硅镜
髙反射率
薄膜
利用TFCALC薄膜设计软件包对TiO2/SiO2, Ta2O5/SiO2和Si/SiO2膜系中心波长为1315 nm的硅镜反射特 性进行了仿真模拟。给出了正入射与45°斜入射情况下三种膜系硅镜的反射特性,并进行了分析与讨论。
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