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上传时间: 2021-03-04 15:10:14
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基于互补金属氧化物半导体(CMOS)兼容技术的硅光子器件在超大规模单片光电集成,高速调制和切换以及高效的片外光耦合方面表现出诱人的性能。 本文介绍了我们小组中在快速硅光调制,对波长不敏感的光切换和有效的光耦合技术方面的最新进展。 已经开发出几种具有不同结构的CMOS兼容硅光耦合器,其最高耦合效率为65%。 实验上实现了具有亚纳秒级开关时间的宽带硅基光开关。 具有新型PN结的硅调制器的速度高达50 Gb s(-1)。