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上传时间: 2021-09-01 22:35:14
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文件大小: 3.54MB
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文件类型: PDF
用MonteCairo方法通过matlab对薄膜外延生长进行了计算机模拟。模型中引入Morse势描述粒子间的相互作用,考虑粒子的沉积、吸附粒子的扩散和蒸发3个过程。研究了粒子间相互作用范围α和允许粒子行走的最大步数对薄膜生长形貌的影响。结果表明:在不同的6c值下,随粒子行走步数的增加,薄膜的生长都经历了从分散、分形、混合到团聚的过程;在同一最大步数下,α值越大,薄膜越易趋向于分散生长。