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基于COMSOL的皮秒激光单脉冲烧蚀铜片
基于COMSOL的皮秒激光单脉冲烧蚀铜片
上传者:
38651507
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上传时间: 2021-11-14 18:34:48
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文件大小: 7.66MB
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文件类型: -
激光技术
激光加工
COMSOL仿
双温模型
利用COMSOL仿真软件建立了铜片双温模型, 通过控制变量, 数值研究了光斑半径和激光能量对电子与晶格温度的影响, 并预测了烧蚀形貌。结果表明, 单脉冲激光光斑半径越大, 铜片的烧蚀深度越小, 烧蚀面积越大; 激光能量越高, 铜片的烧蚀深度越大, 烧蚀面积越大。实验结果进一步证实了仿真的可靠性。
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