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薄膜残余应力有限元分析研究
薄膜残余应力有限元分析研究
上传者:
38633967
|
上传时间: 2021-03-05 09:08:45
|
文件大小: 1.36MB
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文件类型: PDF
关键词
残余应力
薄膜
利用有限元软件对薄膜残余应力进行了分析与计算,并与理论计算结果进行对比,说明所建立的模型是合理的。
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