KLA-Tencor 针对集成电路推出更先进的检测与检查系统
导读：这四款新系统-- 2920 系列、Puma 9850、Surfscan SP5 和 eDR-7110 --为 16nm 及以下的集成电路研发与生产提供更先进的缺陷检测与检查能力。2920 系列宽波等离子图案晶圆缺陷检测系统、Puma 9850 激光扫描图案晶圆缺陷检测系统和 Surfscan SP5 无图案晶圆缺陷检测系统可提供更高的灵敏度和巨大的产能增益。这些检测仪让芯片制造商能够发现和监测对成品率至关重要的缺陷，从而支持芯片制造商在前沿设计节点对复杂结构、新型材料和新的工艺进行整合。
KLA-Tencor 晶圆检测集团执行副总裁 Bobby Bell 表示：“当我们的客户在 1
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