数字微镜器件投影系统的全反射式棱镜设计及系统性能优化

上传者: 38558660 | 上传时间: 2023-03-23 16:04:55 | 文件大小: 1.98MB | 文件类型: PDF
直角全反射式(TIR)棱镜比传统TIR棱镜加工难度低,结构上体积减小50%,重量减小42%,从而降低成本。为了使结构便于加工,应用光学理论对直角TIR棱镜进行优化设计。最后运用光学软件对设计进行模拟,实验结果表明,系统效率从53%降低到48.3%,均匀性从68%上升到91%,证明了设计的直角TIR棱镜的合理性与可行性。

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