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蓝宝石选择性激光刻蚀技术的研究进展
蓝宝石选择性激光刻蚀技术的研究进展
上传者:
38500630
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上传时间: 2023-12-01 22:30:23
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文件类型: PDF
首发论文
蓝宝石选择性激光刻蚀技术的研究进展 ,宋学辉,曲正坤,蓝宝石是红外光学、衬底材料、高温高压环境光学元件的重要材料,在军事和民用领域都有广泛应用。然而,因蓝宝石的高硬度和高化学
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