上传者: tomtntlili
|
上传时间: 2021-05-14 11:47:09
|
文件大小: 95.08MB
|
文件类型: PDF
− 《SEMI EQUIPMENT COMMUNICATIONS STANDARD 1 MESSAGE TRANSFER》(E4)
− 《SEMI EQUIPMENT COMMUNICATIONS STANDARD 2 MESSAGE CONTENT》(E5)
− 《GENERIC MODEL FOR COMMUNICATIONS AND CONTROL OF MANUFACTURING EQUIPMENT》(E30)
− 《HIGH-SPEED SECS MESSAGE SERVICES GENERAL SESSION》(E37)
− 《Standard for Processing Management》( E40)
− 《Equipment Performance Tracking》(E116)
− 《Specification For Enhanced Carrier Handoff Parallel I/O Interface》(E84)
− 《Specification For Carrier Management(CMS)》(E87)
− 《Specification For Control Job Management》(E94)
− Object Services Standard: Concepts, Behavior, and Service》(E39)
− 应无人工厂的需求,买方公司部署AMHS自动上下货机器人,对应对于机台需要支持E84,E87的软硬件功能
− E4:串口点对点通信标准(底层)
− E5:消息数据格式(设备状态,设备控制,物料,配方管理,异常处理等)
− E30:基于E5
− E37:基于TCP/IP,代替E4
− E40:特定物料加工配方程序,定义行为标准
− E116:跟踪设备的状态与性能,提供诊断功能
− E84:物料运输的晶圆传送标准(通过AMHS),并行IO硬件通信接口
− E87:协调carrier进出设备管理标准(检验标识等)
− E94:过程控制
− E39:定义数据结构,提供通用对象的读写服务