semi标准合集.pdf

− 《SEMI EQUIPMENT COMMUNICATIONS STANDARD 1 MESSAGE TRANSFER》(E4) − 《SEMI EQUIPMENT COMMUNICATIONS STANDARD 2 MESSAGE CONTENT》(E5) − 《GENERIC MODEL FOR COMMUNICATIONS AND CONTROL OF MANUFACTURING EQUIPMENT》(E30) − 《HIGH-SPEED SECS MESSAGE SERVICES GENERAL SESSION》(E37) − 《Standard for Processing Management》( E40) − 《Equipment Performance Tracking》(E116) − 《Specification For Enhanced Carrier Handoff Parallel I/O Interface》(E84) − 《Specification For Carrier Management(CMS)》(E87) − 《Specification For Control Job Management》(E94) − Object Services Standard: Concepts, Behavior, and Service》(E39) − 应无人工厂的需求,买方公司部署AMHS自动上下货机器人,对应对于机台需要支持E84,E87的软硬件功能 − E4:串口点对点通信标准（底层） − E5:消息数据格式（设备状态，设备控制，物料，配方管理，异常处理等） − E30：基于E5 − E37：基于TCP/IP，代替E4 − E40：特定物料加工配方程序，定义行为标准 − E116：跟踪设备的状态与性能，提供诊断功能 − E84：物料运输的晶圆传送标准（通过AMHS），并行IO硬件通信接口 − E87：协调carrier进出设备管理标准（检验标识等） − E94：过程控制 − E39：定义数据结构，提供通用对象的读写服务