SECS-HSMS 底层协议详细文档

EAP SECS HSMS SECSII

由于国内半导体设备自动化(EAP)发展较晚，和设备通信的SECS协议文档很难找全，很少有详细介绍每个SxFx的功能定义，资源相对缺乏，特贡献半导体详细文档给大家参考。后续会上传一些SECS协议代码及模拟器给大家。如有需要会上传一些协议的讲解供大家学习。

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评论信息

qwqlxzx :

SECS协议文档,但还是不够清楚。学习学习
2021-07-29
lenmon127 :

资源一般般。
2020-05-15
sqjmike :

还好，不过都别人已上传过的东西，描述不清晰，致使重复下载，浪费积分。
2020-05-08

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