SECS-HSMS 底层协议详细文档

上传者: sd5627035 | 上传时间: 2020-02-16 03:10:31 | 文件大小: 1.97MB | 文件类型: rar
由于国内半导体设备自动化(EAP)发展较晚,和设备通信的SECS协议文档很难找全,很少有详细介绍每个SxFx的功能定义,资源相对缺乏,特贡献半导体详细文档给大家参考。后续会上传一些SECS协议代码及模拟器给大家。如有需要会上传一些协议的讲解供大家学习。

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评论信息

  • qwqlxzx :
    SECS协议文档,但还是不够清楚。学习学习
    2021-07-29
  • lenmon127 :
    资源一般般。
    2020-05-15
  • sqjmike :
    还好,不过都别人已上传过的东西,描述不清晰,致使重复下载,浪费积分。
    2020-05-08

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