光刻机重中之重，前道设备居首位。光刻机作为前道工艺七大设备之首（光刻机、刻蚀机、 镀膜设备、量测设备、清洗机、离子注入机、其他设备），价值含量极大，在制造设 备投资额中单项占比高达23%，技术要求极高，涉及精密光学、精密运动、高精度环 境控制等多项先进技术。光刻机是人类文明的智慧结晶，被誉为半导体工业皇冠上的 明珠。  冲云破雾，国产替代迎曙光。目前全球前道光刻机被ASML、尼康、佳能完全垄断 ,CR3高达99%。在当前局势下，实现光刻机的国产替代势在必行，具有重大战略意义 。在02专项光刻机项目中，设定于2020年12月验收193纳米ArF浸没式DUV光刻机， 其制程工艺为28纳米。考虑到此项目作为十三五目标，未来具有较大的明确性，结合 28nm作为当前关键技术节点的性能和技术优势，我们认为光刻机国产替代将迎来新 的曙光，尤其是IC前道制造领域，将初步打破国外巨头完全垄断的局面，实现从0到1 的突破。  按图索骥，追根溯源寻标的。通过对即将交付的28nm光刻机进行剖析，建议关注以 举国之力助力国产替代的光刻产业链，一是光刻机核心组件：负责整体集成的上海微 电子、负责光源系统的科益虹源，负责物镜系统的国望光学，负责曝光光学系统的国 科精密，负责双工作台的华卓精科，负责浸没系统的启尔机电；二是光刻配套设施： 包括光刻胶，光刻气体，光掩模版，光刻机缺陷检测设备，涂胶显影设备等。

光刻机双工件台实时系统软件设计

光刻机精细对准方法研究，阅读需要用CAJ格式的阅读软件打开

光刻机对准关键技术，基于二维Ronchi光栅的纳米光刻对准技术，超高精度对准系统

光刻胶：半导体材料皇冠上的明珠，迎来国产化机遇

20210605-方正证券-化工行业新材料周报：全球芯片制造公司营收创新高，南大光电ArF光刻胶客户认证再突破.pdf

电子行业深度报告：光刻胶研究框架

20210529-光大证券-基础化工行业周报：日产光刻胶短缺加速国产验证，大陆半导体材料市场增速全球最高.pdf

主要介绍了大规模集成电路制造中光刻工艺的技术现状和发展趋势。首先,在调研光刻机的研发和生产情况的基础上讨论了国内外光刻技术的现状;其次,重点分析了目前用于提高光刻机性能的各种关键技术;最后,简要介绍了下一代光刻技术的研究进展和发展方向。

20210527-方正证券-电子行业深度报告：光刻胶研究框架.pdf