（中南大学机电工程学院，湖南 长沙410083）摘 要：对ADAMS的求解原理进行了简单介绍并运用ADAMS仿真软件分别建立了两种结构对应的虚拟仿真模型，对减振系统分别无主动控制和有主动控制进行了仿真研究。以光刻机为代表的集成电路设备是光、机、电一体化的高精尖产品，其设计和制造集中体现了相关学科中最高水平的研究成果，如对光学镜头表面轮廓的纳米级测量与误差补偿、亚纳米级粗糙度表面的加工，镀膜材料和工艺、运动平台的那米级定位、设备运动环境（振动、温度、湿度、粉尘等）的控制等提出了极高的要求[1-2]。光刻机超精密工件台是光刻机的核心部件之一，其运动精度直接影响光刻机的分辨力，速度和加速度影响光刻机

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用Simulink工具分析设计一阶倒立摆控制系统，摆杆长度为L，质量为m的单级倒立摆(摆杆的质心在杆的中心处)，小车的质量为M。在水平方向施加控制力u，相对参考系产生位移为y。倒立摆的控制任务是让小车移动到指定位置且摆杆保持直立。编写程序求： （1）极点配置所需的状态反馈阵