模拟技术中的光刻机宏动试验运动平台设计及其减振系统仿真研究

模拟技术中的光刻机宏动试验运动平台设计及其减振系统仿真研究模拟技术

（中南大学机电工程学院，湖南长沙410083）摘要：对ADAMS的求解原理进行了简单介绍并运用ADAMS仿真软件分别建立了两种结构对应的虚拟仿真模型，对减振系统分别无主动控制和有主动控制进行了仿真研究。以光刻机为代表的集成电路设备是光、机、电一体化的高精尖产品，其设计和制造集中体现了相关学科中最高水平的研究成果，如对光学镜头表面轮廓的纳米级测量与误差补偿、亚纳米级粗糙度表面的加工，镀膜材料和工艺、运动平台的那米级定位、设备运动环境（振动、温度、湿度、粉尘等）的控制等提出了极高的要求[1-2]。光刻机超精密工件台是光刻机的核心部件之一，其运动精度直接影响光刻机的分辨力，速度和加速度影响光刻机

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