图是垂直腔面发射激光器的结构示意图。其有源区由多量子阱组成,有源区上、下两边分别由多层1/4波长厚的高、低折射率交替的外延材料形成DBR,出射光方向可以是顶部或衬底,这主要取决于衬底材料对所发出的激射光是否透明及上、下DBR究竟哪一个取值更大一些。   图 垂直腔面发射激光器结构示意图   由于垂直腔面发射激光器的这种独特结构,使得研制高性能的VCSEL的关键在于以下几点:   (1)由于VCSEL的腔长较短,只有数个等效波长的量级,因而其相邻模式的间距很大,一般为几十纳米。这要求材料的增益谱峰值波长、多层高反膜即DBR的高反射谱中心波长,以及谐振腔的谐振波长三者要完全符合设计长度。
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VCSEL中的DBR反射镜需要对光场进行纵向的限制。而且由于谐振腔长度较短,故反射损耗比较大,因此反射率必须要很高,最好能超过99%。如图1所示,DBR反射镜由1/4个波长厚度的高反射率和低反射率的介质材料交替组成。将多个这样的交替结构排列起来,所构成反射器的反射率就可以达到99%。   图1 腔长为1个波长的量子阱VCSEL结构   图2是一个典型的红外波段F-P腔结构VCSEL的计算反射率示意图。在反射谱中波长为850 nm处有一个下跌,正好在反射镜的高反射带的中间处,与光腔的谐振波长相同。反射镜的反射率和高反射带与DBR中材料的折射率差成正比。   绝缘材料的DBR反射镜的优点
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