硅片经过线切割机的切割加工后，其表面已受到严重沾污，要达到工业应用标准，就必须经过严格的清洗工序。由于切割带来的严重污染，其表面的清洗工序也必然需要比较复杂和精细的工艺流程。

在实际清洗处理中，常采用物理、或化学反应的方法去除;有机物主要来源于清洗容积、机械油、真空脂、人体油脂、光刻胶等方面，在实际清洗环节可采取双氧水或酸性溶液去除 ;氧化物主要是相应半导体单晶抛光片在自然含氧环境中形成的，且在后期会形成较为严重的化学缺陷。在实际清洗环节可采用稀氢氟酸或稀盐酸进行浸泡处理。

本文档介绍的是一款基于瑞萨单片机R7F0C807的超声波清洗机控制板设计。超声波清洗机控制板以换能器板提供的5V 直流电压作为电源，依据按键状态控制换能器开合以及选择清洗时间（五档可选），利用内部计时器按秒倒计时，并将剩余的清洗时间（以秒计量）显示在LED 上。超声波清洗机利用超声波在液体中的“空洞现象”，使液体中产生细微真空气泡，通过真空气泡爆破释放存储在气泡中的能量，释放高温或高压将物件表面的油脂或污垢剥离，从而达到精密洗净的目的。由于清洗效果好，操作简单，特别是对盲孔和各种几何形状的物体有很大的优势，广泛应用于各个领域。 超声波清洗机控制板实物截图: 超声波清洗机控制板原理框图: 超声波清洗机清洗状态 超声波清洗过程中，LED 显示剩余清洗时间，按秒递减直至为0，红色LED 点亮指示换能器处于闭合状态 超声波清洗机停止状态 超声波清洗机停止状态下，LED 显示剩余清洗时间，红色LED 熄灭指示换能器处于断开状态。

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最新完整英文版UL 61010-2-040：2021 Safety Requirements for Electrical Equipment for Measurement, Control,and Laboratory Use - Part 2-040：Particular Requirements for Sterilizers and Washer-Disinfectors Used to Treat Medical Materials（测量、控制和实验室用电气设备的安全要求--第2-040部分：用于处理医疗材料的消毒器和清洗消毒器的特别要求 ）。

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