硅片表面污染的清洗技术与方法

上传者: jfkj2021 | 上传时间: 2021-06-19 21:02:42 | 文件大小: 936KB | 文件类型: DOCX
硅片经过线切割机的切割加工后,其表面已受到严重沾污,要达到工业应用标准,就必须经过严格的清洗工序。由于切割带来的严重污染,其表面的清洗工序也必然需要比较复杂和精细的工艺流程。

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