早在二十世纪六十年代，在硅集成电路制造技术发明不久，研究人员就想利用这些制造技术和利用硅很好的机械特性，制造微型机械部件，如微传感器、微执行器等。如果把微电子器件同微机械部件做在同一块硅片上，就是微机电系统——MEMS: Microelectromechanical System。
2021-06-05 17:14:15
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东南大学工程矩阵博士生研究生考试历年真题及答案，矩阵论期终考试试卷;工程矩阵理论pdf（东南大学)—张明淳;矩阵论答案-程云鹏版等，比较全面，真的很值得下载。
2021-06-02 10:36:05
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2021-05-30 15:51:39
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