13.2 壁面表面反应和化学蒸汽沉积 对于气相反应，反应速率是在容积反应的基础上定义的，化学物质的形成和摧毁成为物 质守恒方程中的一个源项。沉积的速率由化学反应动力和流体到表面的扩散速率控制。壁面 表面反应因此在丰富相中创建了化学物质的源（和容器），并决定了表面物质的沉积速率。 有关表面反应和化学蒸气沉积的信息按以下小节给出：  13.2.1 概述和限制  13.2.2 理论  13.2.3 壁面表面反应的用户输入  13.2.4 壁面表面反应的求解过程  13.2.5 壁面表面反应的后处理 13.2.1 概述和限制 表面物质和壁面表面反应的概述 FLUENT 把沉积在表面的化学物质与气体中的相同化学物质分开处理。类似地，涉及沉 积的表面反应定义为单独的表面反应，因而其处理也与涉及相同化学物质的丰富相反应不 同。举例说明，考虑从硅烷分解的如下硅沉积机理： 反应 1（表面）： )(2)()( 24 gHsSigSiH +→ ； 反应 2（气体）： )()()( 224 gHgSiHgSiH +→ ； 反应 3（气体）： )()()( 22 gHgSigSiH +→ ； 反应 4（表面）： )()()( 22 gHsSigSiH +→ ； 456

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