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上海市设计反应谱可用于结构设计,应用方便,结构数据来源可靠。可供下载,如有需要,请自行下载,欢迎交流。
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化合反应和氧化反应.pdf
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13.2 壁面表面反应和化学蒸汽沉积 对于气相反应反应速率是在容积反应的基础上定义的,化学物质的形成和摧毁成为物 质守恒方程中的一个源项。沉积的速率由化学反应动力和流体到表面的扩散速率控制。壁面 表面反应因此在丰富相中创建了化学物质的源(和容器),并决定了表面物质的沉积速率。 有关表面反应和化学蒸气沉积的信息按以下小节给出:  13.2.1 概述和限制  13.2.2 理论  13.2.3 壁面表面反应的用户输入  13.2.4 壁面表面反应的求解过程  13.2.5 壁面表面反应的后处理 13.2.1 概述和限制 表面物质和壁面表面反应的概述 FLUENT 把沉积在表面的化学物质与气体中的相同化学物质分开处理。类似地,涉及沉 积的表面反应定义为单独的表面反应,因而其处理也与涉及相同化学物质的丰富相反应不 同。举例说明,考虑从硅烷分解的如下硅沉积机理: 反应 1(表面): )(2)()( 24 gHsSigSiH +→ ; 反应 2(气体): )()()( 224 gHgSiHgSiH +→ ; 反应 3(气体): )()()( 22 gHgSigSiH +→ ; 反应 4(表面): )()()( 22 gHsSigSiH +→ ; 456
2021-12-18 17:44:27 19.63MB Fluent 中文帮助文档 19章 21章
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