平板光波导在TE和TM模式下的色散曲线，通过matlab制图画出了与有效折射率有关的色散曲线

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集成的聚合物波导生物传感器通常用于检测化学/生物样品。 为了提高传统的仅具有一个感测表面的波导传感器的灵敏度，我们基于电感耦合等离子体刻蚀方法设计并制造了具有三个感测表面的改进的感测窗，在理论上其灵敏度可以提高2.8倍。 系统研究了刻蚀参数的影响，尤其是天线功率，偏置功率和氧气流速的影响，并对刻蚀参数进行了优化，以制作出感应窗。 在这种最佳刻蚀条件下，制造了具有改进的感测窗的单模平衡马赫曾德尔干涉仪波导生物传感器，其灵敏度高于传统感测窗的传感器。 这种类型的感测窗口在聚合物波导生物传感器设备中将非常有用。

聚合物波导电光（EO）器件在提高光网络带宽和容量方面起着关键作用。 设计并制造了一种基于有机/无机杂化材料（OIHM）的准矩形电光波导。 SiO2被用作下部包层。 紫外光致抗蚀剂SU-8用作引导芯。 分散的红色1（DR1）掺杂的OIHM的发色团用作EO活性层。 通过优化电感耦合等离子体（ICP）蚀刻的天线功率，偏置功率和O2流量等参数，SU-8可以同时用作导向芯和蚀刻掩模。 通过传统的半导体Craft.io，成功制备了准矩形电光波导器件。 在这种情况下，传输损耗为-3.5 dB / cm。

为了设计聚合物多模干涉MachZehnder干涉仪电光开关，对自成像理论进行了改进。 通过采用嵌入式共面波导电极，电光重叠因子从0.6510提高到0.9658。 考虑到模式色散效应，推导了时域响应的公式，并分析了开关特性。 器件总长度约为7.175毫米，开关电压为2.622 V，开关时间为29.90 ps。 3 dB的光波带宽为20 nm，插入损耗小于2.70 dB，在交叉和棒状状态下的串扰分别小于55 dB和45 dB。

通过使用SU-8负型负极芯（其类型为紫外线（UV）光敏型）和有机-无机杂化材料包层，制造出具有双有源层的紧凑型41×41阵列波导光栅（AWG）器件。 在AWG的计算中选择矩形波导结构，并且可以以5 m的包层厚度和4 mm的芯截面积实现单模。 对于AWG器件，通道空间设置为0.8 nm，中心波长为1550 nm。 经过测试，传输损耗为1.2 dB / cm，中心通道的衍射损耗为6.2 dB，测试通道空间为0.793 nm，中心波长偏移为-0.08 nm /°C。

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利用HFSS 提供的VBScript脚本功能，可以对软件进行二次开发，以VBScript作为接口，利用Matlab调用HFSS协同建模仿真，可以简化模型建立的操作，节约设计时间。

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本文设计仿真的多层转换器，表现出了良好的传播特性，而且工艺要求低、加工简单，易于实现。该转换结构在Ku波段和K波段能够分别实现100%和86.82%良性传播，且比传统结构更紧凑，也更便于实际应用，完全适应微波器件日趋小型化的要求。该结构可用于设计常用微波器件、天线馈电结构等，故在现实生产生活中具有广泛的应用前景。