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设计了一种精密流量阀,采用压电陶瓷驱动流量阀阀芯并控制其位移。在流量阀的减压出口处安装了金属橡胶,以消除流体通过节流口后压力剧烈变化所产生的纹波现象。设计了流量阀的结构,通过分析流经阀芯节流口以及金属橡胶的流体流量特性,基于节流阀芯的力平衡方程,建立了压电陶瓷驱动精密流量阀的电压一流量理论模型。在流量阀出口安装微压力／流量传感器并与控制器组成闭环控制系统,使得该流量阀具有自适应精密减压阀的功能。将减压阀与流量阀串联组合,可以实现对流体的精密减压与流量控制。多个相同的串联组合阀并联后具有数字比例调节阀的功能

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% KLMmodel.m % 提出的压电换能器集总元件模型的代码% Leedom, DA, Krimholtz, R. 和 Matthaei。 % 这里使用的方法依次传播阻抗和电压% 通过网络。 （一种更优雅但速度较慢的方法是使用 T % 矩阵） % 在这里扩展了基本模型以允许最多 3 个匹配层， 每层损失的百分比。 （如果只需要一层，输入 0 表示% 其他层的厚度） % 电压变量代表力。 压力可以通过% 除以换能器面积。 当前变量代表％ 速度。 % Leedom, DA、Krimholtz, R. 和 Matthaei, GL “新的初级等效电路% 压电传感器。”《电子快报》第 6 卷第 13 期（1970 年）。 % Selfridge, A. Gehlback, S. “使用传输矩阵实现 KLM 传感器模型” % 超声波研讨会 p875 (1985) % "具有任意偶或奇对称

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