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参考书籍 Hong Xiao. Introduction to Semiconductor Manufacturing Technology. SPIE. 2012 萧宏. 半导体制造技术导论. 电子工业出版社，2012 施敏. 半导体器件物理与工艺. 苏州大学出版社, 2002 Peter Van Zant. 芯片制造——半导体工艺制程实用教程. 电子工业出版社 Michael Quirk, Julian Serda. 半导体制造技术. 电子工业出版社. 2009 *

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