提出了一种新颖的微机械谐振式微流量传感器。该传感器采用电磁激励方式。传感器主要由1个3μm厚H型谐振器、1个40μm厚的悬臂梁平板(2000μm×5000μm)以及连接平板和框架的2根40μm厚的支撑梁组成。谐振器采用低应力富硅氮化硅SiN制作,可以方便地使用湿法腐蚀释放谐振器,从而简化工艺流程,提高成品率。文中分析了理论模型、有限元仿真(FEA)、工艺制造和测试结果。测试结果显示,传感器在1 SLM(标准L/min)流量下,频率漂移为500 Hz,分辨率达到5/1000。但在输出(谐振器频率漂移)和输入(气体流量)间存在二次曲线关系。
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电磁场的边界条件.ppt,很详尽很概括的电磁场的边界条件PPT
2023-07-24 17:26:08 596KB 电磁场边界
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不可多得的好软件!在电磁场分析方面有很大的作用。
2023-07-10 16:53:13 454KB 电磁场分析 学习资料
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2023-07-03 20:29:06 3.55MB 标准 电磁兼容
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2018年智能车电磁平衡PCB工程,获得全国二等奖,一体板设计,包含6路电磁信号放大和2路电机驱动,主控为KEA128
2023-06-23 20:36:17 17.63MB PCB 智能车 平衡车
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本文介绍了用有限差分法和分离变量法两种方法实现对U型槽内电位分布仿真,本文介绍了两种方法的基本原理和公式推导,并且实现了MATLAB仿真,对结果进行了分析,同时也实现了某些参数调整时的仿真结果。
2023-06-06 14:58:42 1.32MB matlab 电磁学
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2023-06-03 23:33:11 1.88MB 电磁场
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电磁兼容性 要求与测试 医用电气设备 GB9706.1并列标准
2023-04-24 10:09:48 13.35MB 电磁兼容性 医用电气
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