PECVD薄膜颗粒缺陷研究和改善 ，王铁渠，黄其煜，在半导体集成电路制造PECVD工艺中，经常会遇到薄膜颗粒缺陷问题。本论文总结了PECVD 中薄膜颗粒的类型和形成原因以及改善方法。PECVD��
2022-04-15 18:22:52
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有色金属-新材料稀土永磁材料2022年年度策略报告：政策改善增长边际空间，新能源及节能推动需求释放.pdf
2022-04-06 02:43:19
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改善版： excel vba 萬年歷 万年历 阳历 农历 阴历 记事录功能 全部vba代码 和excel公式做成
2022-04-04 12:21:16
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针对常规模糊控制存在静差的缺陷,提出一种变结构自适应模糊控制器, 该控制器能够根据控
制过程的不同阶段进行变结构控制和自适应控制, 且不存在平滑过渡问题,有效地改善了系统的动态性
能并克服了静差,为大时滞系统和许多未知模型系统的控制提供了一种新的思路。 仿真和实际应用证明
了该控制器的有效性。
2022-03-27 14:43:50
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