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衍射微透
镜阵列的光学性能研究及测试
对
衍射微透
镜阵列的光学性能进行理论上的研究,并提出一种测试微透镜阵列衍射效率和点扩散函数的方法,建立了一套测试系统,并对本所研制的128×128
衍射微透
镜阵列的衍射效率和点扩散函数进行了测试。测试结果证明本所研制的2位相的石英和硅
衍射微透
镜阵列的性能较好,均匀性较高;而由于工艺和光刻系统的限制,4位相
衍射微透
镜的制作还存在一些不足,这些都可以从所得到的
衍射微透
镜的点扩散函数曲线图和衍射效率看出。该方法适于测试具有微小单元尺寸、周期排列的微透镜阵列或单元的衍射效率和点扩散函数。
2021-04-01 20:10:48
1.47MB
二元光学
衍射微透
衍射效率
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