提出了一种新颖的微机械谐振式微流量传感器。该传感器采用电磁激励方式。传感器主要由1个3μm厚H型谐振器、1个40μm厚的悬臂梁平板(2000μm×5000μm)以及连接平板和框架的2根40μm厚的支撑梁组成。谐振器采用低应力富硅氮化硅SiN制作,可以方便地使用湿法腐蚀释放谐振器,从而简化工艺流程,提高成品率。文中分析了理论模型、有限元仿真(FEA)、工艺制造和测试结果。测试结果显示,传感器在1 SLM(标准L/min)流量下,频率漂移为500 Hz,分辨率达到5/1000。但在输出(谐振器频率漂移)和输入(气体流量)间存在二次曲线关系。
2023-07-25 14:23:48
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-----------------------------------------------------------------ansys耦合场分析指南.pdf
2021-11-12 16:07:50
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《ANSYS 14热力学/电磁学/耦合场分析自学手册》以ANSYS 14为平台，对ANSYS热力学分析、电磁学分析和耦合场分析的基本思路、操作步骤、应用技巧进行了介绍，并结合工程应用实例讲述了ANSYS具体工程应用方法。
《ANSYS 14热力学/电磁学/耦合场分析自学手册》首先介绍了ANSYS软件及应用ANSYS进行有限元分析的例子，随后介绍了热力学分析、电磁学分析及多物理耦合场分析，最后以具体的工程实例深入浅出地介绍了这些技术的应用。《ANSYS 14热力学/电磁学/耦合场分析自学手册》中所举实例具有典型性、新颖性，并且每个实例都先用GUI方式一步一步教读者如何操作，让读者轻松地学会，随后提供详细的命令流。
《ANSYS 14热力学/电磁学/耦合场分析自学手册》适合ANSYS的热力学、电磁学和耦合场分析的初学者和期望提高工程应用能力的读者，也可以作为大学本科学生与研究生进行有限元分析的参考教材。本书附赠光盘的内容包括全书所有实例的程序文件和实例操作过程录屏讲解AVI文件。
2021-03-09 01:10:08
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