SiEPIC工具 -用于硅光子布局，设计，验证和电路仿真 由 ，（C）2015-2020，与贡献：， ，， 。 软件包。 edX课程中提供的有关硅光子学的设计，布局，制造，测试，数据分析的说明 Lukas Chrostowski和Michael Hochberg撰写的《以及教科书《 。 可以通过电子束光刻进行制造，包括制造。 引用这项工作： Lukas Chrostowski，Lu Zeqin Lu，Jonas Flueckiger，Xu Wang，Jackson Klein，Amy Liu，Jaspreet Jhoja，James Pond，“”，Proc.Natl.Acad.Sci.USA，88：5873-5877。 SPIE 9891，硅光子学和光子集成电路V，989114（2016年5月13日）; doi：10.1117 / 12.2230376。 Lukas Ch

反射镜作为光子集成电路的基本元件,被应用于量子通信、智能电网、航空航天等多种领域。高反射率、低温度敏感性的片上光反射镜可以大大简化光子集成电路系统,提高光子集成电路的可靠性和稳定性。因此,提出了一种基于绝缘体上硅的高反射率、低温度敏感性片上光反射镜方案。该方案采用Sagnac环结构,可在3.41 nm波长范围内实现超高反射率(反射率大于90%),在32.85 nm波长范围内实现高反射率(反射率大于80%)。通过片上微型热电极对该反射镜进行加热,结果表明,当微型热电极的功率从0 mW逐渐升高至6 mW时,在1566.5~1568.58 nm波长范围内反射镜的波长漂移量小于0.045 nm,反射率变化小于0.19 dB。该反射镜具有尺寸小、质量轻、制造简单、反射率高、损耗小、温度不敏感等优势,可广泛应用于激光器、微波光子滤波器、光传输网等通信和信号处理领域。