提出一种面向数字全息的相位畸变自动补偿方法，利用图像分割技术对被检测物体进行自动分割,生成相位掩模板，进而得到不含被测物体区域的畸变相位。基于相位畸变校正模型对畸变相位进行最小二乘拟合，最终实现相位畸变的自动补偿。实验中搭建了数字全息检测平台，并对晶圆表面进行测量，结果表明所提出的方法能够实现畸变相位的自动校正。
2021-05-31 11:11:34
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自适应光学系统的光路通常包含很多光学器件，而各光学器件存在加工误差、装调误差和非均匀热变形等，这些因素会对光束质量产生影响，因此系统内光路相位畸变的校正对获得好的光束质量至关重要。然而系统光路较长时，激光在传输过程中的衍射效应会对内光路相位畸变的校正效果产生重要影响。模拟了离焦和像散等实际应用中存在的主要畸变在不同衍射(以菲涅耳数表征)和像差大小下的校正效果。研究表明：校正效果随着衍射的增强而变差，校正效果良好的菲涅耳数范围为Nf>11；随着像差的增大相位校正效果变差。
2021-02-25 22:03:34
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