SRIM是模拟计算离子在靶材中能量损失和分布的程序组。它采用Monte Carlo方法，利用计算机模拟跟踪一大批入射粒子的运动。粒子的位置、能量损失以及次级粒子的各种参数都在整个跟踪过程中存储下来，最后得到各种所需物理量的期望值和相应的统计误差。该软件可以选择特定的入射离子及靶材种类，并可设置合适的加速电压[53]。可以算不同粒子，以不同的能量，从不同的位置，以不同的角度入射到靶中的情况。