压阻式压力传感器及其应用电路，它采用集成电路
工艺, 结构简单, 测压上限可达到60M Pa, 具有
工作可靠、耐腐性、抗干扰能力强等特点, 国内
有些厂家利用美国生产的传感器芯片, 加上严
格的组装工艺, 其不确定度可达0104%FS 以
上, 在压力测量领域得到了较广泛的应用。
2022-02-24 15:13:29
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行业分类-物理装置-一种MEMS压阻传感器的内建自测试装置及测试方法.zip
2021-07-26 15:02:11
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