分析了偶数点阵达曼光栅的设计原理与特性。利用数值优化方法，获得了一组64×64点阵达曼光栅解。光栅模版用电子束制版法制成，其最细线宽为2.5μm。用光刻法实现了这一位相光栅，并比较了不同位相光栅制作法的优缺点。原子力显微镜测得的光栅深度曲线与64×64点阵实验结果表明，此光栅结果接近理论值。
2023-03-18 20:10:06
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